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株式会社荏原製作所

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  2013年 出願公開件数ランキング    第358位 118件 上昇2012年:第427位 92件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第276位 144件 上昇2012年:第286位 128件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5291075 給水装置の始動方法および給水装置 2013年 9月18日
特許 5290240 回転装置、ターボ分子ポンプ 2013年 9月18日
特許 5290009 ドライ真空ポンプ用電源装置、及びその運転方法 2013年 9月18日
特許 5284873 ガス処理装置および半導体製造装置 2013年 9月11日
特許 5284753 真空ポンプ装置の異物掻き出し制御方法、及び真空ポンプ装置 2013年 9月11日
特許 5284773 処理温度を上昇させる排ガス処理方法、排ガス処理装置の運転方法、および排ガス処理装置 2013年 9月11日
特許 5280723 耐食性皮膜の形成方法及び高温装置部材 2013年 9月 4日
特許 5283868 立軸ポンプおよび立軸ポンプの点検方法 2013年 9月 4日
特許 5283506 研磨装置および研磨方法 2013年 9月 4日
特許 5281831 導電材料構造体の形成方法 2013年 9月 4日
特許 5274993 研磨装置 2013年 8月28日
特許 5276734 給水装置 2013年 8月28日
特許 5270329 スラスト滑り軸受および該スラスト滑り軸受を備えたポンプ 2013年 8月21日
特許 5254085 ポンプ設備 2013年 8月 7日
特許 5254668 研磨終点検出方法 2013年 8月 7日

144 件中 46-60 件を表示

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5291075 5290240 5290009 5284873 5284753 5284773 5280723 5283868 5283506 5281831 5274993 5276734 5270329 5254085 5254668

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