株式会社荏原製作所
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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第358位 118件
（
2012年：第427位 92件）
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第276位 144件
（2012年：第286位 128件）
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株式会社荏原製作所の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5291075 | 給水装置の始動方法および給水装置 | 2013年 9月18日 | |
| 特許 5290240 | 回転装置、ターボ分子ポンプ | 2013年 9月18日 | |
| 特許 5290009 | ドライ真空ポンプ用電源装置、及びその運転方法 | 2013年 9月18日 | |
| 特許 5284873 | ガス処理装置および半導体製造装置 | 2013年 9月11日 | |
| 特許 5284753 | 真空ポンプ装置の異物掻き出し制御方法、及び真空ポンプ装置 | 2013年 9月11日 | |
| 特許 5284773 | 処理温度を上昇させる排ガス処理方法、排ガス処理装置の運転方法、および排ガス処理装置 | 2013年 9月11日 | |
| 特許 5280723 | 耐食性皮膜の形成方法及び高温装置部材 | 2013年 9月 4日 | |
| 特許 5283868 | 立軸ポンプおよび立軸ポンプの点検方法 | 2013年 9月 4日 | |
| 特許 5283506 | 研磨装置および研磨方法 | 2013年 9月 4日 | |
| 特許 5281831 | 導電材料構造体の形成方法 | 2013年 9月 4日 | |
| 特許 5274993 | 研磨装置 | 2013年 8月28日 | |
| 特許 5276734 | 給水装置 | 2013年 8月28日 | |
| 特許 5270329 | スラスト滑り軸受および該スラスト滑り軸受を備えたポンプ | 2013年 8月21日 | |
| 特許 5254085 | ポンプ設備 | 2013年 8月 7日 | |
| 特許 5254668 | 研磨終点検出方法 | 2013年 8月 7日 |
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5291075 5290240 5290009 5284873 5284753 5284773 5280723 5283868 5283506 5281831 5274993 5276734 5270329 5254085 5254668
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