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東京応化工業株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第366位 107件 下降2010年:第258位 187件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第252位 139件 上昇2010年:第315位 98件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4767829 リソグラフィー用洗浄剤及びそれを用いたレジストパターン形成方法 2011年 9月 7日
特許 4763390 感光性樹脂組成物 2011年 8月31日
特許 4762867 ホトリソグラフィ用洗浄液およびこれを用いた基板の洗浄方法 2011年 8月31日
特許 4762829 パターン微細化用被覆形成剤およびそれを用いた微細パターンの形成方法 2011年 8月31日
特許 4762821 ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2011年 8月31日
特許 4762630 レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2011年 8月31日
特許 4754265 ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2011年 8月24日
特許 4754421 ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2011年 8月24日
特許 4757766 液浸露光用ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2011年 8月24日
特許 4754457 ディスペンサ 2011年 8月24日
特許 4756963 カラーフィルタ用感光性樹脂組成物およびこれを用いたカラーフィルタ 2011年 8月24日
特許 4757525 シリカ系被膜形成用組成物 2011年 8月24日
特許 4755573 処理装置および処理方法、ならびに表面処理治具 2011年 8月24日
特許 4757524 シリカ系被膜形成用組成物 2011年 8月24日
特許 4757532 電子線用ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2011年 8月24日

139 件中 46-60 件を表示

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4767829 4763390 4762867 4762829 4762821 4762630 4754265 4754421 4757766 4754457 4756963 4757525 4755573 4757524 4757532

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