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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第366位 107件
(2010年:第258位 187件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第252位 139件
(2010年:第315位 98件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4721828 | サポートプレートの剥離方法 | 2011年 7月13日 | |
特許 4722417 | 化合物、高分子化合物、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 | 2011年 7月13日 | |
特許 4717612 | スプレー塗布用ホトレジスト組成物および積層体 | 2011年 7月 6日 | |
特許 4717732 | ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 | 2011年 7月 6日 | |
特許 4717640 | 液浸露光用レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 | 2011年 7月 6日 | |
特許 4713234 | ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 | 2011年 6月29日 | |
特許 4713235 | ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 | 2011年 6月29日 | |
特許 4707987 | 化学増幅型ポジ型ホトレジスト組成物 | 2011年 6月22日 | |
特許 4708194 | 金属パターン形成材料及び金属パターンの形成方法 | 2011年 6月22日 | |
特許 4708113 | レジスト組成物、レジストパターン形成方法 | 2011年 6月22日 | |
特許 4704228 | レジスト液供給装置及び当該レジスト液供給装置を得るための改造キット | 2011年 6月15日 | |
特許 4694686 | 半導体素子製造方法 | 2011年 6月 8日 | |
特許 4699140 | パターン形成方法 | 2011年 6月 8日 | |
特許 4694153 | 高分子化合物、該高分子化合物を含有するフォトレジスト組成物、およびレジストパターン形成方法 | 2011年 6月 8日 | |
特許 4699329 | 液体薬品の分配装置及び分配方法 | 2011年 6月 8日 |
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4721828 4722417 4717612 4717732 4717640 4713234 4713235 4707987 4708194 4708113 4704228 4694686 4699140 4694153 4699329
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