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株式会社アルバック

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  2011年 出願公開件数ランキング    第167位 266件 上昇2010年:第171位 294件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第133位 277件 上昇2010年:第152位 210件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-114045 絶縁膜の成膜方法 2011年 6月 9日
特開 2011-113696 電源装置 2011年 6月 9日
特開 2011-108923 真空処理装置 2011年 6月 2日
特開 2011-108692 CMOSデバイス用シリコンウェハの製造方法 2011年 6月 2日
特開 2011-108603 薄膜リチウム二次電池及び薄膜リチウム二次電池の形成方法 2011年 6月 2日
特開 2011-104757 搬送装置及び真空装置 2011年 6月 2日
特開 2011-104695 ロボットアーム及び搬送装置 2011年 6月 2日
特開 2011-105550 ITO焼結体の製造方法及びITOスパッタリングターゲットの製造方法 2011年 6月 2日
特開 2011-106032 プロセス管理システム 2011年 6月 2日
特開 2011-107036 漏洩検知システム 2011年 6月 2日
特開 2011-107034 リークディテクタ 2011年 6月 2日
再表 2009-99107 基板搬送用のロボットハンド 2011年 5月26日
再表 2009-93598 スパッタ成膜方法およびスパッタ成膜装置 2011年 5月26日
再表 2009-93580 液晶表示装置の製造方法 2011年 5月26日
再表 2009-90994 基板ステージ、これを備えたスパッタ装置及び成膜方法 2011年 5月26日

266 件中 121-135 件を表示

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2011-114045 2011-113696 2011-108923 2011-108692 2011-108603 2011-104757 2011-104695 2011-105550 2011-106032 2011-107036 2011-107034 2009-99107 2009-93598 2009-93580 2009-90994

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