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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第499位 67件
(2015年:第400位 88件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第236位 145件
(2015年:第166位 188件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5875462 | スパッタリング方法 | 2016年 3月 2日 | |
特許 5875851 | 薄膜製造方法、薄膜製造装置 | 2016年 3月 2日 | |
特許 5875874 | バリア膜の形成方法、及び強誘電体デバイスの製造方法 | 2016年 3月 2日 | |
特許 5876002 | 容器搬送装置 | 2016年 3月 2日 | |
特許 5876065 | 真空処理装置 | 2016年 3月 2日 | |
特許 5871550 | 搬送ロボット及び真空装置 | 2016年 3月 1日 | |
特許 5866815 | 成膜方法 | 2016年 2月24日 | |
特許 5867204 | 真空処理装置 | 2016年 2月24日 | |
特許 5869003 | ロードロック装置及びそれを備えた真空処理装置 | 2016年 2月24日 | |
特許 5869361 | ITO粉末の製造方法及びITOスパッタリングターゲットの製造方法 | 2016年 2月24日 | |
特許 5869560 | カソードユニット | 2016年 2月24日 | |
特許 5856805 | 真空部品の製造方法 | 2016年 2月10日 | |
特許 5859367 | ZrBO膜のエッチング方法、半導体装置の製造方法、及びZrBO膜のエッチング装置 | 2016年 2月10日 | |
特許 5854741 | 基板処理装置 | 2016年 2月 9日 | |
特許 5855410 | 窒化アルミニウム膜の形成方法 | 2016年 2月 9日 |
153 件中 121-135 件を表示
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5875462 5875851 5875874 5876002 5876065 5871550 5866815 5867204 5869003 5869361 5869560 5856805 5859367 5854741 5855410
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