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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第499位 67件
(2015年:第400位 88件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第236位 145件
(2015年:第166位 188件)
(ランキング更新日:2025年6月25日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5933273 | 走査型白色干渉計による試料の表面形状の測定方法 | 2016年 6月 8日 | |
特許 5925476 | タングステン化合物膜の形成方法 | 2016年 5月25日 | |
特許 5920967 | IGZO膜の形成方法及び薄膜トランジスタの製造方法 | 2016年 5月24日 | |
特許 5921048 | スパッタリング方法 | 2016年 5月24日 | |
特許 5921840 | 成膜方法 | 2016年 5月24日 | |
特許 5921974 | 蒸気放出装置及び成膜装置 | 2016年 5月24日 | |
特許 5921977 | バリア絶縁膜形成方法 | 2016年 5月24日 | |
特許 5913974 | 有機ELデバイスの製造装置、及び有機ELデバイスの製造方法 | 2016年 5月11日 | |
特許 5914129 | プラズマ処理装置 | 2016年 5月11日 | |
特許 5914786 | 絶縁物ターゲット | 2016年 5月11日 | |
特許 5912455 | 基板割れ検出方法および当該基板割れ検出方法に基づくイオンビーム照射装置の運転方法 | 2016年 4月27日 | |
特許 5913830 | シリコン基板のエッチング方法 | 2016年 4月27日 | |
特許 5905330 | 製造システムの管理装置、製造システムの管理方法、及び、製造システムの管理プログラム | 2016年 4月20日 | |
特許 5901744 | ドライエッチング方法 | 2016年 4月13日 | |
特許 5901762 | ハードマスクの製造方法 | 2016年 4月13日 |
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5933273 5925476 5920967 5921048 5921840 5921974 5921977 5913974 5914129 5914786 5912455 5913830 5905330 5901744 5901762
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