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株式会社アルバック

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  2016年 出願公開件数ランキング    第499位 67件 下降2015年:第400位 88件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第236位 145件 下降2015年:第166位 188件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5933273 走査型白色干渉計による試料の表面形状の測定方法 2016年 6月 8日
特許 5925476 タングステン化合物膜の形成方法 2016年 5月25日
特許 5920967 IGZO膜の形成方法及び薄膜トランジスタの製造方法 2016年 5月24日
特許 5921048 スパッタリング方法 2016年 5月24日
特許 5921840 成膜方法 2016年 5月24日
特許 5921974 蒸気放出装置及び成膜装置 2016年 5月24日
特許 5921977 バリア絶縁膜形成方法 2016年 5月24日
特許 5913974 有機ELデバイスの製造装置、及び有機ELデバイスの製造方法 2016年 5月11日
特許 5914129 プラズマ処理装置 2016年 5月11日
特許 5914786 絶縁物ターゲット 2016年 5月11日
特許 5912455 基板割れ検出方法および当該基板割れ検出方法に基づくイオンビーム照射装置の運転方法 2016年 4月27日
特許 5913830 シリコン基板のエッチング方法 2016年 4月27日
特許 5905330 製造システムの管理装置、製造システムの管理方法、及び、製造システムの管理プログラム 2016年 4月20日
特許 5901744 ドライエッチング方法 2016年 4月13日
特許 5901762 ハードマスクの製造方法 2016年 4月13日

153 件中 91-105 件を表示

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5933273 5925476 5920967 5921048 5921840 5921974 5921977 5913974 5914129 5914786 5912455 5913830 5905330 5901744 5901762

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