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株式会社アルバック

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7787321 真空蒸着装置用の蒸着源及び真空蒸着方法 2025年12月16日
特許 7773346 搬送装置 2025年11月19日
特許 7773321 スパッタリング装置用の回転式カソードユニット 2025年11月19日
特許 7766472 真空処理装置及び真空処理方法 2025年11月10日
特許 7760746 成膜方法 2025年10月27日
特許 7759767 マグネトロンスパッタリング装置及びスパッタリング方法 2025年10月24日
特許 7759748 真空処理装置 2025年10月24日
特許 7750483 結晶化積層構造体の製造方法 2025年10月 7日
特許 7749466 イオンミリング源、真空処理装置、及び真空処理方法 2025年10月 6日
特許 7745578 スパッタリング装置 2025年 9月29日
特許 7744231 真空処理装置 2025年 9月25日
特許 7742778 基板処理装置および基板処理方法 2025年 9月22日
特許 7742765 プラズマ処理装置、プラズマ処理方法 2025年 9月22日
特許 7741693 マグネトロンスパッタリング装置用のカソードユニット及びマグネトロンスパッタリング装置 2025年 9月18日
特許 7734295 質量分析計 2025年 9月 4日

46 件中 1-15 件を表示

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7787321 7773346 7773321 7766472 7760746 7759767 7759748 7750483 7749466 7745578 7744231 7742778 7742765 7741693 7734295

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