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株式会社アルバック

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  2024年 特許取得件数ランキング    第431位 59件 下降2023年:第259位 132件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7536551 成膜管理方法、および、成膜装置 2024年 8月20日
特許 7535389 真空蒸着装置 2024年 8月16日
特許 7530533 真空蒸着装置用の蒸着源及び真空蒸着方法 2024年 8月 7日
特許 7527206 スパッタリング装置 2024年 8月 2日
特許 7524019 薄膜の形成方法 2024年 7月29日
特許 7522670 連続処理装置 2024年 7月25日
特許 7517886 真空処理装置用のステージ 2024年 7月17日
特許 7517911 成膜方法及びスパッタリング装置 2024年 7月17日
特許 7510457 プラズマ処理装置 2024年 7月 3日
特許 7503398 真空成膜装置用の部品 2024年 6月20日
特許 7503481 膜厚モニタ 2024年 6月20日
特許 7503702 真空蒸着装置用の蒸着源 2024年 6月20日
特許 7502120 成膜装置及び成膜方法 2024年 6月18日
特許 7496239 薄膜リチウム二次電池及び薄膜リチウム二次電池の製造方法 2024年 6月 6日
特許 7495289 クリーニング方法 2024年 6月 4日

62 件中 16-30 件を表示

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7536551 7535389 7530533 7527206 7524019 7522670 7517886 7517911 7510457 7503398 7503481 7503702 7502120 7496239 7495289

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