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株式会社アルバック

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7684663 多成分の金属膜、その製造方法及びトランジスタのゲート構造 2025年 5月28日
特許 7684418 成膜方法 2025年 5月27日
特許 7675116 真空蒸着装置用の蒸着源及びこの蒸着源を備える真空蒸着装置 2025年 5月12日
特許 7672921 成膜方法及び成膜装置 2025年 5月 8日
特許 7662395 真空蒸着装置用の蒸着源 2025年 4月15日
特許 7659472 冷凍機用のロータリーバルブ 2025年 4月 9日
特許 7651517 集塵方法 2025年 3月26日
特許 7645138 ハードマスクの製造方法及び太陽電池の製造方法 2025年 3月13日
特許 7642499 冷凍機及び冷凍機の運転方法 2025年 3月10日
特許 7636963 有機発光素子、成膜方法、及び成膜装置 2025年 2月27日
特許 7633048 真空蒸着装置用の蒸着源 2025年 2月19日
特許 7628165 真空蒸着方法 2025年 2月 7日
特許 7623326 基板処理装置及びクランプ機構 2025年 1月28日
特許 7620094 スパッタ装置、スパッタ装置の制御方法およびスパッタ装置用制御装置 2025年 1月22日
特許 7614143 成膜装置及び成膜方法 2025年 1月15日

31 件中 16-30 件を表示

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7684663 7684418 7675116 7672921 7662395 7659472 7651517 7645138 7642499 7636963 7633048 7628165 7623326 7620094 7614143

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