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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第283位 135件 (2020年:第332位 110件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第250位 116件 (2020年:第276位 101件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2021-150410 | 基板処理装置、及び半導体装置の製造方法 | 2021年 9月27日 | |
特開 2021-150471 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2021年 9月27日 | |
特開 2021-150472 | 気化装置、基板処理装置、クリーニング方法および半導体装置の製造方法 | 2021年 9月27日 | |
特開 2021-150540 | 基板処理装置、半導体装置の表示方法、半導体装置の製造方法、及びプログラム | 2021年 9月27日 | |
特開 2021-150580 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2021年 9月27日 | |
特開 2021-150627 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2021年 9月27日 | |
再表 2020-59093 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及びプログラム | 2021年 9月24日 | |
再表 2020-59174 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよびプラズマユニット | 2021年 9月16日 | |
特開 2021-141148 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2021年 9月16日 | |
特開 2021-141152 | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2021年 9月16日 | |
特開 2021-141167 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2021年 9月16日 | |
特開 2021-141180 | 基板処理装置、治具、半導体装置の製造方法および基板処理装置の校正方法 | 2021年 9月16日 | |
特開 2021-136349 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、及びプログラム | 2021年 9月13日 | |
再表 2020-53996 | 基板処理装置、基板保持部、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2021年 9月 9日 | |
再表 2020-65707 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2021年 9月 9日 |
135 件中 31-45 件を表示
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2021-150410 2021-150471 2021-150472 2021-150540 2021-150580 2021-150627 2020-59093 2020-59174 2021-141148 2021-141152 2021-141167 2021-141180 2021-136349 2020-53996 2020-65707
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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