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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第283位 135件 (2020年:第332位 110件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第250位 116件 (2020年:第276位 101件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2021-101486 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置、およびプログラム | 2021年 7月 8日 | |
特開 2021-100017 | 基板処理装置、基板処理システム、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 | 2021年 7月 1日 | |
特開 2021-100047 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2021年 7月 1日 | |
再表 2020-8682 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2021年 6月24日 | |
特開 2021-97245 | ガス供給ノズル、基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2021年 6月24日 | |
特開 2021-82774 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2021年 5月27日 | |
再表 2019-229785 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2021年 5月20日 | |
特開 2021-77862 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2021年 5月20日 | |
特開 2021-68864 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2021年 4月30日 | |
特開 2021-68916 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2021年 4月30日 | |
特開 2021-64807 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2021年 4月22日 | |
特開 2021-61428 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2021年 4月15日 | |
特開 2021-61429 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2021年 4月15日 | |
再表 2019-186616 | 処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2021年 4月 8日 | |
特開 2021-52086 | 基板処理装置、及び半導体の製造方法 | 2021年 4月 1日 |
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2021-101486 2021-100017 2021-100047 2020-8682 2021-97245 2021-82774 2019-229785 2021-77862 2021-68864 2021-68916 2021-64807 2021-61428 2021-61429 2019-186616 2021-52086
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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