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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第283位 135件 (2020年:第332位 110件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第250位 116件 (2020年:第276位 101件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2021-52092 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及び基板処理装置の洗浄方法 | 2021年 4月 1日 | |
特開 2021-52110 | 基板処理装置、ガスボックス及び半導体装置の製造方法 | 2021年 4月 1日 | |
特開 2021-52154 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2021年 4月 1日 | |
特開 2021-52196 | 温度センサ、基板処理装置、および半導体装置の製造方法 | 2021年 4月 1日 | |
特開 2021-48233 | 原料貯留システム、基板処理装置、クリーニング方法およびプログラム | 2021年 3月25日 | |
再表 2019-186653 | 基板処理装置、反応管形状測定方法及び半導体装置の製造方法 | 2021年 3月18日 | |
特開 2021-44282 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及びプログラム | 2021年 3月18日 | |
特開 2021-44334 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2021年 3月18日 | |
特開 2021-44419 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及び記録媒体 | 2021年 3月18日 | |
再表 2019-180905 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2021年 3月11日 | |
再表 2019-186654 | 部品の診断方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、及びプログラム | 2021年 3月11日 | |
再表 2019-188128 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2021年 3月11日 | |
特開 2021-39970 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2021年 3月11日 | |
特開 2021-40060 | 半導体装置の製造方法、基板処理システム、およびプログラム | 2021年 3月11日 | |
特開 2021-40145 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2021年 3月11日 |
135 件中 91-105 件を表示
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2021-52092 2021-52110 2021-52154 2021-52196 2021-48233 2019-186653 2021-44282 2021-44334 2021-44419 2019-180905 2019-186654 2019-188128 2021-39970 2021-40060 2021-40145
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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