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株式会社ＫＯＫＵＳＡＩ　ＥＬＥＣＴＲＩＣ

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株式会社ＫＯＫＵＳＡＩ　ＥＬＥＣＴＲＩＣの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7282837	基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム	2023年 5月29日
特許 7281519	基板処理装置、半導体装置の製造方法および処理容器	2023年 5月25日
特許 7274039	基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム	2023年 5月15日
特許 7273079	基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび基板処理方法	2023年 5月12日
特許 7273086	半導体装置の製造方法、プログラム及び基板処理装置	2023年 5月12日
特許 7273168	基板処理方法、半導体装置の製造方法、プログラム及び基板処理装置	2023年 5月12日
特許 7271485	基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム	2023年 5月11日
特許 7270029	レシピ作成方法、作成されたレシピを用いた半導体装置の製造方法、及び基板処理装置、並びにレシピ作成プログラム	2023年 5月 9日
特許 7270045	基板処理装置、基板支持具、半導体装置の製造方法およびプログラム	2023年 5月 9日
特許 7270049	基板処理装置、サセプタカバー、半導体装置の製造方法、及び基板処理方法	2023年 5月 9日
特許 7260578	基板処理装置、半導体装置の製造方法、および、プログラム	2023年 4月18日
特許 7258826	基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム	2023年 4月17日
特許 7258970	気化システム、基板処理装置および半導体装置の製造方法	2023年 4月17日
特許 7257998	基板処理装置、半導体装置の製造方法、及びプログラム	2023年 4月14日
特許 7256887	基板処理装置、昇降機構、半導体装置の製造方法及びプログラム	2023年 4月12日

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7282837 7281519 7274039 7273079 7273086 7273168 7271485 7270029 7270045 7270049 7260578 7258826 7258970 7257998 7256887

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