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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7352667 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2023年 9月28日 | |
特許 7351865 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2023年 9月27日 | |
特許 7349033 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2023年 9月21日 | |
特許 7344942 | 基板処理装置、クリーニング方法、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2023年 9月14日 | |
特許 7344944 | ガス供給システム、基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2023年 9月14日 | |
特許 7345019 | 基板処理装置、基板処理方法、プログラム及び半導体装置の製造方法 | 2023年 9月14日 | |
特許 7342138 | 基板処理装置、プラズマ生成装置、半導体装置の製造方法、プラズマ生成方法およびプログラム | 2023年 9月11日 | |
特許 7341200 | システム、処理装置、半導体装置の製造方法、及びプログラム | 2023年 9月 8日 | |
特許 7339975 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、及びプログラム | 2023年 9月 6日 | |
特許 7334223 | 半導体デバイスの製造方法、基板処理システム及びプログラム | 2023年 8月28日 | |
特許 7329679 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2023年 8月18日 | |
特許 7329021 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理システム、およびプログラム | 2023年 8月17日 | |
特許 7329133 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2023年 8月17日 | |
特許 7328293 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理システム、およびプログラム | 2023年 8月16日 | |
特許 7326555 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2023年 8月15日 |
129 件中 31-45 件を表示
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7352667 7351865 7349033 7344942 7344944 7345019 7342138 7341200 7339975 7334223 7329679 7329021 7329133 7328293 7326555
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