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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第457位 67件
(2023年:第405位 81件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第396位 75件
(2023年:第265位 129件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7530878 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置、およびプログラム | 2024年 8月 8日 | |
特許 7529764 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2024年 8月 6日 | |
特許 7524333 | 半導体装置の製造方法、プログラム、基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 7月29日 | |
特許 7524406 | 半導体装置の製造方法、プログラム、基板処理装置および基板処理方法 | 2024年 7月29日 | |
特許 7524442 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、プログラムおよび基板処理装置 | 2024年 7月29日 | |
特許 7518935 | 原料供給システム、基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2024年 7月18日 | |
特許 7515560 | ガスクリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理方法、プログラム及び基板処理装置 | 2024年 7月12日 | |
特許 7514876 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及び基板支持具 | 2024年 7月11日 | |
特許 7498217 | 基板処理装置、装置起動方法、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2024年 6月11日 | |
特許 7496884 | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2024年 6月 7日 | |
特許 7494342 | 処理装置、装置管理コントローラ、及びプログラム並びに半導体装置の製造方法 | 2024年 6月 3日 | |
特許 7489499 | 流体供給システム、基板処理装置及び半導体装置の製造方法並びにプログラム | 2024年 5月23日 | |
特許 7480247 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2024年 5月 9日 | |
特許 7478832 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、基板処理方法及びプログラム | 2024年 5月 7日 | |
特許 7465360 | 基板配置データの表示方法、半導体装置の製造方法及び基板処理装置並びにプログラム | 2024年 4月10日 |
75 件中 31-45 件を表示
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7530878 7529764 7524333 7524406 7524442 7518935 7515560 7514876 7498217 7496884 7494342 7489499 7480247 7478832 7465360
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