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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7522159 | 基板処理装置 | 2024年 7月24日 | |
特許 7520078 | 基板処理装置 | 2024年 7月22日 | |
特許 7515541 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 7月12日 | |
特許 7513666 | 基板処理装置 | 2024年 7月 9日 | |
特許 7511608 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2024年 7月 5日 | |
特許 7510973 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 7月 4日 | |
特許 7510473 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 7月 3日 | |
特許 7510487 | ガス供給ユニット及びこれを含む基板処理装置 | 2024年 7月 3日 | |
特許 7507902 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 6月28日 | |
特許 7503108 | 液貯蔵ユニット及び基板処理装置 | 2024年 6月19日 | |
特許 7503110 | 基板処理装置 | 2024年 6月19日 | |
特許 7502256 | 基板処理装置 | 2024年 6月18日 | |
特許 7500681 | 液供給ユニット、これを有する基板処理装置、及び基板処理方法 | 2024年 6月17日 | |
特許 7499806 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2024年 6月14日 | |
特許 7498743 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 6月12日 |
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7522159 7520078 7515541 7513666 7511608 7510973 7510473 7510487 7507902 7503108 7503110 7502256 7500681 7499806 7498743
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