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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7492551 | 容器及び基板処理システム | 2024年 5月29日 | |
特許 7489435 | タワーリフトとこれを含む物流システム及びこれを利用した搬送方法 | 2024年 5月23日 | |
特許 7489445 | 加圧装置及び減光液供給システム | 2024年 5月23日 | |
特許 7488880 | ホームポート、そして、これを含む基板処理装置 | 2024年 5月22日 | |
特許 7486548 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 5月17日 | |
特許 7477587 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 5月 1日 | |
特許 7476273 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 4月30日 | |
特許 7474292 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2024年 4月24日 | |
特許 7466420 | 基板処理装置、基板処理方法、及びノズルユニット | 2024年 4月12日 | |
特許 7466589 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 4月12日 | |
特許 7464665 | 基板処理装置及び方法 | 2024年 4月 9日 | |
特許 7461984 | リングキャリヤー及び基板処理システム | 2024年 4月 4日 | |
特許 7461424 | 加熱ユニット及び加熱ユニットの制御方法 | 2024年 4月 3日 | |
特許 7461426 | 基板処理装置、基板処理設備、及び基板処理方法 | 2024年 4月 3日 | |
特許 7459211 | 基板処理装置、そして、基板処理装置を制御する方法 | 2024年 4月 1日 |
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7492551 7489435 7489445 7488880 7486548 7477587 7476273 7474292 7466420 7466589 7464665 7461984 7461424 7461426 7459211
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