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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第108位 369件
(2020年:第107位 385件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第76位 336件
(2020年:第118位 239件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6869279 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2021年 5月12日 | |
特許 6869305 | スリットノズルおよび基板処理装置 | 2021年 5月12日 | |
特許 6869756 | ノズルクリーニング装置およびノズルクリーニング方法 | 2021年 5月12日 | |
特許 6870941 | 搬送条件設定装置、基板処理装置、および搬送条件設定方法 | 2021年 5月12日 | |
特許 6870944 | 基板処理装置 | 2021年 5月12日 | |
特許 6871550 | エッチング装置 | 2021年 5月12日 | |
特許 6871807 | 分類器構築方法、分類器および分類器構築装置 | 2021年 5月12日 | |
特許 6864313 | 化学物質の評価方法 | 2021年 4月28日 | |
特許 6864514 | 基板処理システムおよび基板処理方法 | 2021年 4月28日 | |
特許 6864552 | 熱処理装置および熱処理方法 | 2021年 4月28日 | |
特許 6864564 | 熱処理方法 | 2021年 4月28日 | |
特許 6865116 | 固体製剤及びその検査方法 | 2021年 4月28日 | |
特許 6865626 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2021年 4月28日 | |
特許 6865803 | 平坦化装置 | 2021年 4月28日 | |
特許 6866148 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2021年 4月28日 |
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6869279 6869305 6869756 6870941 6870944 6871550 6871807 6864313 6864514 6864552 6864564 6865116 6865626 6865803 6866148
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