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株式会社SCREENホールディングス

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  2021年 特許取得件数ランキング    第76位 336件 上昇2020年:第118位 239件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6869279 基板処理装置および基板処理方法 2021年 5月12日
特許 6869305 スリットノズルおよび基板処理装置 2021年 5月12日
特許 6869756 ノズルクリーニング装置およびノズルクリーニング方法 2021年 5月12日
特許 6870941 搬送条件設定装置、基板処理装置、および搬送条件設定方法 2021年 5月12日
特許 6870944 基板処理装置 2021年 5月12日
特許 6871550 エッチング装置 2021年 5月12日
特許 6871807 分類器構築方法、分類器および分類器構築装置 2021年 5月12日
特許 6864313 化学物質の評価方法 2021年 4月28日
特許 6864514 基板処理システムおよび基板処理方法 2021年 4月28日
特許 6864552 熱処理装置および熱処理方法 2021年 4月28日
特許 6864564 熱処理方法 2021年 4月28日
特許 6865116 固体製剤及びその検査方法 2021年 4月28日
特許 6865626 基板処理装置および基板処理方法 2021年 4月28日
特許 6865803 平坦化装置 2021年 4月28日
特許 6866148 基板処理装置および基板処理方法 2021年 4月28日

338 件中 211-225 件を表示

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6869279 6869305 6869756 6870941 6870944 6871550 6871807 6864313 6864514 6864552 6864564 6865116 6865626 6865803 6866148

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