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株式会社SCREENホールディングス

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  2021年 特許取得件数ランキング    第76位 336件 上昇2020年:第118位 239件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6887253 基板処理方法及び基板処理装置 2021年 6月16日
特許 6887265 基板処理装置 2021年 6月16日
特許 6887280 基板処理装置、基板処理方法およびプログラム記録媒体 2021年 6月16日
特許 6887836 処理液供給装置、基板処理装置、および処理液供給方法 2021年 6月16日
特許 6884082 膜厚測定装置、基板検査装置、膜厚測定方法および基板検査方法 2021年 6月 9日
特許 6879484 画像取得装置、露光装置、及び画像取得方法 2021年 6月 2日
特許 6879808 熱処理装置 2021年 6月 2日
特許 6880364 基板処理装置および基板処理方法 2021年 6月 2日
特許 6880494 分類装置の製造方法、画像の分類方法、画像の分類装置、半導体の検査装置および分類基準モジュール 2021年 6月 2日
特許 6881922 基板処理方法および基板処理装置 2021年 6月 2日
特許 6882908 基板処理装置 2021年 6月 2日
特許 6875357 基板保持装置、基板処理装置および基板保持方法 2021年 5月26日
特許 6875811 パターン倒壊回復方法、基板処理方法および基板処理装置 2021年 5月26日
特許 6876570 処理液除電方法、基板処理方法および基板処理システム 2021年 5月26日
特許 6878075 基板処理装置および基板処理方法 2021年 5月26日

338 件中 181-195 件を表示

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6887253 6887265 6887280 6887836 6884082 6879484 6879808 6880364 6880494 6881922 6882908 6875357 6875811 6876570 6878075

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