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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第108位 369件
(2020年:第107位 385件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第76位 336件
(2020年:第118位 239件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6887253 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2021年 6月16日 | |
特許 6887265 | 基板処理装置 | 2021年 6月16日 | |
特許 6887280 | 基板処理装置、基板処理方法およびプログラム記録媒体 | 2021年 6月16日 | |
特許 6887836 | 処理液供給装置、基板処理装置、および処理液供給方法 | 2021年 6月16日 | |
特許 6884082 | 膜厚測定装置、基板検査装置、膜厚測定方法および基板検査方法 | 2021年 6月 9日 | |
特許 6879484 | 画像取得装置、露光装置、及び画像取得方法 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6879808 | 熱処理装置 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6880364 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6880494 | 分類装置の製造方法、画像の分類方法、画像の分類装置、半導体の検査装置および分類基準モジュール | 2021年 6月 2日 | |
特許 6881922 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6882908 | 基板処理装置 | 2021年 6月 2日 | |
特許 6875357 | 基板保持装置、基板処理装置および基板保持方法 | 2021年 5月26日 | |
特許 6875811 | パターン倒壊回復方法、基板処理方法および基板処理装置 | 2021年 5月26日 | |
特許 6876570 | 処理液除電方法、基板処理方法および基板処理システム | 2021年 5月26日 | |
特許 6878075 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2021年 5月26日 |
338 件中 181-195 件を表示
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6887253 6887265 6887280 6887836 6884082 6879484 6879808 6880364 6880494 6881922 6882908 6875357 6875811 6876570 6878075
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2月26日(水) -
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2月26日(水) -
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2月27日(木) - 東京 港区
2月27日(木) -
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3月4日(火) -
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3月5日(水) -
3月5日(水) -
3月6日(木) -
3月6日(木) - 東京 品川区
3月6日(木) -
3月6日(木) - 東京 港区
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3月7日(金) - 東京 港区
3月7日(金) -
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3月4日(火) - 東京 港区
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