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■ 2025年 出願公開件数ランキング 第258位 54件
(2024年:第425位 74件)
■ 2025年 特許取得件数ランキング 第425位 26件
(2024年:第488位 54件)
(ランキング更新日:2025年6月3日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2025-11050 | ガス注入システムおよびそれを使用するウエハ処理装置 | 2025年 1月23日 | |
特開 2025-9953 | ウエハボートシステム、ホルダーリングおよびそれらの使用 | 2025年 1月20日 | |
特開 2025-9972 | 弁アセンブリのための方法および装置 | 2025年 1月20日 | |
特開 2025-10002 | 追加的な処理チャンバ接続性を有する延在した基材処理システムおよび方法 | 2025年 1月20日 | |
特開 2025-4761 | 前駆体レベルモニタリングのための方法およびシステム | 2025年 1月15日 | |
特開 2025-3383 | ALDによって層を形成する方法 | 2025年 1月 9日 | |
特開 2025-3397 | シャワーヘッドアセンブリおよびシャワーヘッドプレート | 2025年 1月 9日 | |
特開 2025-3398 | 基材処理チャンバと基材ハンドリングチャンバとの間のサーマルブレイク | 2025年 1月 9日 | |
特開 2025-1652 | 蒸気圧モニタリングのための方法および装置 | 2025年 1月 8日 |
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2025-11050 2025-9953 2025-9972 2025-10002 2025-4761 2025-3383 2025-3397 2025-3398 2025-1652
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6月4日(水) -
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