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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第908位 29件 (2021年:第569位 56件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第6243位 2件 (2021年:第9350位 1件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2022-183058 | 半導体処理システムにおいてガス流を制御するシステムおよび方法 | 2022年12月 8日 | |
特開 2022-183087 | 反応器システム用汚染物質トラップシステム | 2022年12月 8日 | |
特開 2022-176127 | CVD装置及び成膜処理方法 | 2022年11月25日 | |
特開 2022-171606 | 反応器システムおよび反応器システムを洗浄する方法 | 2022年11月11日 | |
特開 2022-164704 | 周期的堆積プロセスにより基材上にルテニウム含有膜を堆積させる方法 | 2022年10月27日 | |
特開 2022-146925 | 温度制御された反応チャンバー | 2022年10月 5日 | |
特開 2022-125017 | 流れ制御リングを有する基板処理装置、および基板処理方法 | 2022年 8月26日 | |
特開 2022-124474 | 垂直炉反応器アセンブリ、環状フランジユニットの整列方法、および使用 | 2022年 8月25日 | |
特開 2022-123851 | 遷移金属含有材の堆積 | 2022年 8月24日 | |
特開 2022-121392 | ウエハボート | 2022年 8月19日 | |
特開 2022-114450 | 層を堆積させるための方法およびシステム | 2022年 8月 5日 | |
特開 2022-106674 | 基材を処理する方法 | 2022年 7月20日 | |
特開 2022-104900 | 材料を堆積させるための組成物、合成方法および使用 | 2022年 7月12日 | |
特開 2022-99294 | マッチングボックスを有するプラズマ処理装置 | 2022年 7月 4日 | |
特開 2022-97433 | 回転可能テーブルを有するウエハ処理装置 | 2022年 6月30日 |
30 件中 1-15 件を表示
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2022-183058 2022-183087 2022-176127 2022-171606 2022-164704 2022-146925 2022-125017 2022-124474 2022-123851 2022-121392 2022-114450 2022-106674 2022-104900 2022-99294 2022-97433
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