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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第2197位 9件
(
2020年:第1095位 22件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第1475位 12件
(
2020年:第1162位 16件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6985399 | 静電式基板保持ユニット | 2021年12月22日 | |
| 特許 6986105 | ウエハの永久接合方法 | 2021年12月22日 | |
| 特許 6951446 | 感光性の層を露光するための装置および方法 | 2021年10月20日 | |
| 特許 6935498 | 感光性の層を露光するための装置および方法 | 2021年 9月15日 | |
| 特許 6926075 | 基材の表面上のミリメートル、マイクロメートルまたはナノメートル構造を処理するための方法 | 2021年 8月25日 | |
| 特許 6918074 | ボンディング層を施与する方法 | 2021年 8月11日 | |
| 特許 6899891 | 基板を制御して接合する方法およびサンプルホルダ | 2021年 7月 7日 | |
| 特許 6856659 | 基板を接合する装置および方法 | 2021年 4月 7日 | |
| 特許 6848012 | 基板のボンディング装置及び方法 | 2021年 3月24日 | |
| 特許 6843232 | 2つの基板をボンディングするための装置および方法 | 2021年 3月17日 | |
| 特許 6816155 | 計測装置および計測方法 | 2021年 1月20日 | |
| 特許 6818076 | 基板を接合する装置および方法 | 2021年 1月20日 |
12 件中 1-12 件を表示
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6985399 6986105 6951446 6935498 6926075 6918074 6899891 6856659 6848012 6843232 6816155 6818076
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