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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第1304位 22件
(2012年:第1466位 17件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第1098位 25件
(2012年:第1367位 19件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2013-250082 | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び欠陥検査プログラム | 2013年12月12日 | |
特開 2013-245985 | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び欠陥検査プログラム | 2013年12月 9日 | |
特開 2013-239263 | リチウムイオン電池の観察方法、試験用リチウムイオン電池及びその製造方法 | 2013年11月28日 | |
特開 2013-221822 | 検査装置 | 2013年10月28日 | |
特開 2013-222811 | EUVマスクブランクス、マスクの製造方法、及びアライメント方法 | 2013年10月28日 | |
特開 2013-217703 | 検査装置 | 2013年10月24日 | |
特開 2013-191733 | 欠陥座標測定装置、欠陥座標測定方法、マスクの製造方法、及び基準マスク | 2013年 9月26日 | |
特開 2013-187098 | プラズマシールド装置及びプラズマ光源装置 | 2013年 9月19日 | |
特開 2013-167857 | 顕微鏡及び検査装置 | 2013年 8月29日 | |
特開 2013-113650 | トレンチ深さ測定装置及びトレンチ深さ測定方法並びに共焦点顕微鏡 | 2013年 6月10日 | |
特開 2013-108809 | 太陽電池セルの測定装置、及び測定方法 | 2013年 6月 6日 | |
特開 2013-110226 | アライメント方法、及びマスクの製造方法 | 2013年 6月 6日 | |
特開 2013-92409 | 形状測定装置 | 2013年 5月16日 | |
特開 2013-80810 | EUVマスク検査装置及びEUVマスク検査方法 | 2013年 5月 2日 | |
特開 2013-53923 | 厚さ測定装置 | 2013年 3月21日 |
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2013-250082 2013-245985 2013-239263 2013-221822 2013-222811 2013-217703 2013-191733 2013-187098 2013-167857 2013-113650 2013-108809 2013-110226 2013-92409 2013-80810 2013-53923
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