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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5344629 | 検査装置及び検査方法 | 2013年11月20日 | |
特許 5344598 | 基板保持装置、欠陥検査装置及び欠陥修正装置 | 2013年11月20日 | |
特許 5344545 | 基板保持装置 | 2013年11月20日 | |
特許 5344595 | 太陽電池の評価装置、評価方法、及び太陽電池の製造方法 | 2013年11月20日 | |
特許 5317138 | 検査装置及び欠陥検査方法 | 2013年10月16日 | |
特許 5278784 | パターン検査装置及びパターン検査方法、パターン基板の製造方法 | 2013年 9月 4日 | |
特許 5278783 | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び欠陥検査プログラム | 2013年 9月 4日 | |
特許 5273644 | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 | 2013年 8月28日 | |
特許 5273652 | 加工装置、加工方法、欠陥修正装置、欠陥修正方法及びパターン基板の製造方法。 | 2013年 8月28日 | |
特許 5268115 | 膜厚測定装置、及び膜厚測定方法 | 2013年 8月21日 | |
特許 5268088 | 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 | 2013年 8月21日 | |
特許 5268061 | 基板検査装置 | 2013年 8月21日 | |
特許 5266551 | 表面形状測定装置、及び表面形状測定方法 | 2013年 8月21日 | |
特許 5240980 | 3次元測定装置及び検査装置 | 2013年 7月17日 | |
特許 5239049 | 粗さ測定方法及び粗さ測定装置 | 2013年 7月17日 |
25 件中 1-15 件を表示
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5344629 5344598 5344545 5344595 5317138 5278784 5278783 5273644 5273652 5268115 5268088 5268061 5266551 5240980 5239049
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