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レーザーテック株式会社

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  2013年 特許取得件数ランキング    第1098位 25件 上昇2012年:第1367位 19件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5344629 検査装置及び検査方法 2013年11月20日
特許 5344598 基板保持装置、欠陥検査装置及び欠陥修正装置 2013年11月20日
特許 5344545 基板保持装置 2013年11月20日
特許 5344595 太陽電池の評価装置、評価方法、及び太陽電池の製造方法 2013年11月20日
特許 5317138 検査装置及び欠陥検査方法 2013年10月16日
特許 5278784 パターン検査装置及びパターン検査方法、パターン基板の製造方法 2013年 9月 4日
特許 5278783 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び欠陥検査プログラム 2013年 9月 4日
特許 5273644 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 2013年 8月28日
特許 5273652 加工装置、加工方法、欠陥修正装置、欠陥修正方法及びパターン基板の製造方法。 2013年 8月28日
特許 5268115 膜厚測定装置、及び膜厚測定方法 2013年 8月21日
特許 5268088 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 2013年 8月21日
特許 5268061 基板検査装置 2013年 8月21日
特許 5266551 表面形状測定装置、及び表面形状測定方法 2013年 8月21日
特許 5240980 3次元測定装置及び検査装置 2013年 7月17日
特許 5239049 粗さ測定方法及び粗さ測定装置 2013年 7月17日

25 件中 1-15 件を表示

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5344629 5344598 5344545 5344595 5317138 5278784 5278783 5273644 5273652 5268115 5268088 5268061 5266551 5240980 5239049

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