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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第1746位 13件 (2021年:第1359位 18件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第1763位 11件 (2021年:第2016位 8件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2022-179351 | 光源装置及び検査装置 | 2022年12月 2日 | |
特開 2022-168463 | 供給装置、供給方法及び光源 | 2022年11月 8日 | |
特開 2022-168816 | 光学フィルタ、光学フィルタの製造方法及び光源 | 2022年11月 8日 | |
特開 2022-161475 | 欠陥検出装置、欠陥検出方法、画像処理装置及び画像処理プログラム | 2022年10月21日 | |
特開 2022-139421 | 検査装置及び振動抑制方法 | 2022年 9月26日 | |
特開 2022-118468 | 撮像システム、検査装置、及び撮像方法 | 2022年 8月15日 | |
特開 2022-107110 | EUVマスク検査装置、EUVマスク検査方法、EUVマスク検査プログラム及びEUVマスク検査システム | 2022年 7月21日 | |
特開 2022-90203 | マスク検査方法及びマスク検査装置 | 2022年 6月17日 | |
特開 2022-86126 | 異物除去装置及び異物除去方法 | 2022年 6月 9日 | |
特開 2022-74621 | 検査装置及び検査方法 | 2022年 5月18日 | |
特開 2022-69005 | 測定装置、及び測定方法 | 2022年 5月11日 | |
特開 2022-59920 | 照明光学系、照明方法、及び検査装置 | 2022年 4月14日 | |
特開 2022-52849 | 異物除去方法及び異物除去装置 | 2022年 4月 5日 |
13 件中 1-13 件を表示
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2022-179351 2022-168463 2022-168816 2022-161475 2022-139421 2022-118468 2022-107110 2022-90203 2022-86126 2022-74621 2022-69005 2022-59920 2022-52849
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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