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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第1667位 14件 (2015年:第1323位 19件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第1862位 10件 (2015年:第1281位 15件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2016-206171 | パターンの検査方法、マスクの検査方法、パターンの検査装置、マスクの検査装置、及びマスク | 2016年12月 8日 | |
特開 2016-197079 | 検査装置 | 2016年11月24日 | |
特開 2016-197318 | 検査装置、検査方法、及びプログラム | 2016年11月24日 | |
特開 2016-162195 | 画像処理装置、検査装置、画像処理方法、及びプログラム | 2016年 9月 5日 | |
特開 2016-118519 | 検査装置、及び検査方法 | 2016年 6月30日 | |
特開 2016-102776 | 検査装置、及び検査方法 | 2016年 6月 2日 | |
特開 2016-99615 | 照明装置及びレーザ顕微鏡 | 2016年 5月30日 | |
特開 2016-100541 | マスクステージ及びステージ装置 | 2016年 5月30日 | |
特開 2016-85045 | バンプ検査装置 | 2016年 5月19日 | |
特開 2016-80598 | 座標検出装置、検査装置、及び座標検出方法 | 2016年 5月16日 | |
特開 2016-62004 | 検査装置、及び波面収差補正方法 | 2016年 4月25日 | |
特開 2016-24042 | 検査装置及びオートフォーカス方法 | 2016年 2月 8日 | |
特開 2016-9826 | 撮像素子、検査装置、及び検査方法 | 2016年 1月18日 | |
特開 2016-1274 | レーザ顕微鏡及びスキャナー | 2016年 1月 7日 |
14 件中 1-14 件を表示
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2016-206171 2016-197079 2016-197318 2016-162195 2016-118519 2016-102776 2016-99615 2016-100541 2016-85045 2016-80598 2016-62004 2016-24042 2016-9826 2016-1274
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