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レーザーテック株式会社

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  2017年 出願公開件数ランキング    第1299位 22件 上昇2016年:第1667位 14件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第1630位 11件 上昇2016年:第1862位 10件)

(ランキング更新日:2026年2月19日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2017-223456 測定装置、測定方法及び補正方法 2017年12月21日
特開 2017-215546 共焦点顕微鏡 2017年12月 7日
特開 2017-212163 評価システム及び固定治具 2017年11月30日
特開 2017-198491 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 2017年11月 2日
特開 2017-198814 光源装置、検査装置及び光源装置の制御方法 2017年11月 2日
特開 2017-187547 EUVマスク検査装置、及びフォーカス調整方法 2017年10月12日
特開 2017-173575 対物レンズ用冷却装置、対物レンズの冷却方法及び顕微鏡 2017年 9月28日
特開 2017-173592 レーザ顕微鏡 2017年 9月28日
特開 2017-156545 検査装置、及びそのフォーカス調整方法 2017年 9月 7日
特開 2017-151282 光源装置、検査装置、及び光源装置の制御方法 2017年 8月31日
特開 2017-142211 マスク検査装置及びマスク検査方法 2017年 8月17日
特開 2017-142445 マスク検査装置及びマスク検査方法 2017年 8月17日
特開 2017-138246 検査装置、検査方法、及びイメージセンサ 2017年 8月10日
特開 2017-134308 検査装置、検査方法、汚染防止構造及び露光装置 2017年 8月 3日
特開 2017-125685 厚さ測定装置及び厚さ分布測定装置 2017年 7月20日

22 件中 1-15 件を表示

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2017-223456 2017-215546 2017-212163 2017-198491 2017-198814 2017-187547 2017-173575 2017-173592 2017-156545 2017-151282 2017-142211 2017-142445 2017-138246 2017-134308 2017-125685

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