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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第1299位 22件 (2016年:第1667位 14件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2017-223456 | 測定装置、測定方法及び補正方法 | 2017年12月21日 | |
特開 2017-215546 | 共焦点顕微鏡 | 2017年12月 7日 | |
特開 2017-212163 | 評価システム及び固定治具 | 2017年11月30日 | |
特開 2017-198491 | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 | 2017年11月 2日 | |
特開 2017-198814 | 光源装置、検査装置及び光源装置の制御方法 | 2017年11月 2日 | |
特開 2017-187547 | EUVマスク検査装置、及びフォーカス調整方法 | 2017年10月12日 | |
特開 2017-173575 | 対物レンズ用冷却装置、対物レンズの冷却方法及び顕微鏡 | 2017年 9月28日 | |
特開 2017-173592 | レーザ顕微鏡 | 2017年 9月28日 | |
特開 2017-156545 | 検査装置、及びそのフォーカス調整方法 | 2017年 9月 7日 | |
特開 2017-151282 | 光源装置、検査装置、及び光源装置の制御方法 | 2017年 8月31日 | |
特開 2017-142211 | マスク検査装置及びマスク検査方法 | 2017年 8月17日 | |
特開 2017-142445 | マスク検査装置及びマスク検査方法 | 2017年 8月17日 | |
特開 2017-138246 | 検査装置、検査方法、及びイメージセンサ | 2017年 8月10日 | |
特開 2017-134308 | 検査装置、検査方法、汚染防止構造及び露光装置 | 2017年 8月 3日 | |
特開 2017-125685 | 厚さ測定装置及び厚さ分布測定装置 | 2017年 7月20日 |
22 件中 1-15 件を表示
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2017-223456 2017-215546 2017-212163 2017-198491 2017-198814 2017-187547 2017-173575 2017-173592 2017-156545 2017-151282 2017-142211 2017-142445 2017-138246 2017-134308 2017-125685
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