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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第1299位 17件
(
2020年:第1174位 20件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第2016位 8件
(
2020年:第2753位 5件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2021-189215 | 光学装置、及び光学装置の汚染防止方法 | 2021年12月13日 | |
| 特開 2021-177129 | 検査装置 | 2021年11月11日 | |
| 特開 2021-148605 | 検査装置及び検査方法 | 2021年 9月27日 | |
| 特開 2021-143840 | 検査装置、及び参照画像の生成方法 | 2021年 9月24日 | |
| 特開 2021-135212 | 測定装置及び測定方法 | 2021年 9月13日 | |
| 特開 2021-131359 | 輝度補正装置、検査装置、輝度補正方法、及び輝度補正プログラム | 2021年 9月 9日 | |
| 特開 2021-124446 | 検査装置及び検査方法 | 2021年 8月30日 | |
| 特開 2021-120727 | フィルタ | 2021年 8月19日 | |
| 特開 2021-117185 | 検査装置 | 2021年 8月10日 | |
| 特開 2021-60209 | 検査装置及び検査方法 | 2021年 4月15日 | |
| 再表 2019-216303 | 検査装置、検査方法、学習方法、及びプログラム | 2021年 3月25日 | |
| 特開 2021-43361 | 光源、検査装置、EUV光の生成方法及び検査方法 | 2021年 3月18日 | |
| 特開 2021-18307 | 撮像装置、及びフォーカス調整方法 | 2021年 2月15日 | |
| 特開 2021-15027 | 検査装置及び検査方法 | 2021年 2月12日 | |
| 特開 2021-9982 | 光源、検査装置、EUV光の生成方法及び検査方法 | 2021年 1月28日 |
17 件中 1-15 件を表示
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2021-189215 2021-177129 2021-148605 2021-143840 2021-135212 2021-131359 2021-124446 2021-120727 2021-117185 2021-60209 2019-216303 2021-43361 2021-18307 2021-15027 2021-9982
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