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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2021年 出願公開件数ランキング    第339位 109件 下降2020年:第286位 138件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第239位 120件 下降2020年:第237位 122件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2021-505957 リソグラフィ装置を制御する方法および関連する装置 2021年 2月18日
特表 2021-505973 パターニングプロセスについての情報を決定する方法、測定データにおける誤差を低減する方法、メトロロジプロセスを較正する方法、メトロロジターゲットを選択する方法 2021年 2月18日
特表 2021-504731 多孔質グラファイトペリクル 2021年 2月15日
特表 2021-504732 レーザビームモニタリングシステム 2021年 2月15日
特表 2021-504954 パターニングプロセスパラメータを決定する方法および装置 2021年 2月15日
特開 2021-15289 光学要素を洗浄するための制御された流体流 2021年 2月12日
特開 2021-15304 干渉計における周期誤差の測定および校正の手順 2021年 2月12日
特表 2021-503103 基板ホルダ、基板支持部、基板をクランプシステムにクランプする方法、およびリソグラフィ装置 2021年 2月 4日
特表 2021-502584 基板ホルダおよび基板ホルダを製造する方法 2021年 1月28日
特表 2021-502585 EUVペリクル 2021年 1月28日
特表 2021-502669 電子ビーム検査ツール、及びオブジェクトテーブルを位置決めする方法 2021年 1月28日
特表 2021-501905 関心対象特性を算出するメトロロジ装置及び方法 2021年 1月21日
特表 2021-501907 極端紫外線光源のチャンバ内の光学系の表面の洗浄 2021年 1月21日
特表 2021-501909 応力低減のための金属ケイ化物窒化 2021年 1月21日
特表 2021-501309 構造を測定するメトロロジ装置、リソグラフィシステム、及び方法 2021年 1月14日

112 件中 91-105 件を表示

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2021-505957 2021-505973 2021-504731 2021-504732 2021-504954 2021-15289 2021-15304 2021-503103 2021-502584 2021-502585 2021-502669 2021-501905 2021-501907 2021-501909 2021-501309

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