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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第339位 109件 (2020年:第286位 138件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第239位 120件 (2020年:第237位 122件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2021-505957 | リソグラフィ装置を制御する方法および関連する装置 | 2021年 2月18日 | |
特表 2021-505973 | パターニングプロセスについての情報を決定する方法、測定データにおける誤差を低減する方法、メトロロジプロセスを較正する方法、メトロロジターゲットを選択する方法 | 2021年 2月18日 | |
特表 2021-504731 | 多孔質グラファイトペリクル | 2021年 2月15日 | |
特表 2021-504732 | レーザビームモニタリングシステム | 2021年 2月15日 | |
特表 2021-504954 | パターニングプロセスパラメータを決定する方法および装置 | 2021年 2月15日 | |
特開 2021-15289 | 光学要素を洗浄するための制御された流体流 | 2021年 2月12日 | |
特開 2021-15304 | 干渉計における周期誤差の測定および校正の手順 | 2021年 2月12日 | |
特表 2021-503103 | 基板ホルダ、基板支持部、基板をクランプシステムにクランプする方法、およびリソグラフィ装置 | 2021年 2月 4日 | |
特表 2021-502584 | 基板ホルダおよび基板ホルダを製造する方法 | 2021年 1月28日 | |
特表 2021-502585 | EUVペリクル | 2021年 1月28日 | |
特表 2021-502669 | 電子ビーム検査ツール、及びオブジェクトテーブルを位置決めする方法 | 2021年 1月28日 | |
特表 2021-501905 | 関心対象特性を算出するメトロロジ装置及び方法 | 2021年 1月21日 | |
特表 2021-501907 | 極端紫外線光源のチャンバ内の光学系の表面の洗浄 | 2021年 1月21日 | |
特表 2021-501909 | 応力低減のための金属ケイ化物窒化 | 2021年 1月21日 | |
特表 2021-501309 | 構造を測定するメトロロジ装置、リソグラフィシステム、及び方法 | 2021年 1月14日 |
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2021-505957 2021-505973 2021-504731 2021-504732 2021-504954 2021-15289 2021-15304 2021-503103 2021-502584 2021-502585 2021-502669 2021-501905 2021-501907 2021-501909 2021-501309
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11月22日(金) -
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11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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