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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2020年 出願公開件数ランキング    第286位 138件 下降2019年:第272位 151件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第237位 122件 上昇2019年:第255位 108件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2020-537331 リソグラフィ装置において使用される基板ホルダ 2020年12月17日
特開 2020-202180 荷電粒子源モジュール 2020年12月17日
特表 2020-536249 基板上の1つ又は複数の構造の特性を決定するためのメトロロジシステムおよび方法 2020年12月10日
特表 2020-536347 荷電粒子ビームを用いた装置 2020年12月10日
特表 2020-536350 干渉計ステージ位置決めデバイス 2020年12月10日
特開 2020-197731 リソグラフィ装置及びリソグラフィ装置の動作方法 2020年12月10日
特開 2020-197750 リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造 2020年12月10日
特表 2020-535458 放射源 2020年12月 3日
特表 2020-535479 デバイス製造方法の制御パラメータを決定する方法、本方法を実行するよう構成される非一時的コンピュータ可読媒体およびシステム 2020年12月 3日
特表 2020-535484 リソグラフィ方法 2020年12月 3日
特表 2020-535583 サンプル検査における画像コントラスト強調 2020年12月 3日
特表 2020-535584 後方散乱粒子による埋め込みフィーチャの検出 2020年12月 3日
特表 2020-535585 荷電粒子のビーム状態を調節するための方法及び装置 2020年12月 3日
特表 2020-535586 荷電粒子のためのマルチセル検出器 2020年12月 3日
特表 2020-535587 荷電粒子ビーム検査のためのサンプルの予備帯電方法及び装置 2020年12月 3日

140 件中 1-15 件を表示

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2020-537331 2020-202180 2020-536249 2020-536347 2020-536350 2020-197731 2020-197750 2020-535458 2020-535479 2020-535484 2020-535583 2020-535584 2020-535585 2020-535586 2020-535587

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