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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2017年 出願公開件数ランキング    第379位 113件 上昇2016年:第396位 90件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第305位 95件 上昇2016年:第324位 97件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2017-538962 リフレクタ 2017年12月28日
特表 2017-538143 熱調節流体ポンプ 2017年12月21日
特表 2017-538155 パターニングデバイストポグラフィ誘起位相を使用するための方法及び装置 2017年12月21日
特表 2017-538156 リソグラフィ方法及び装置 2017年12月21日
特表 2017-538157 パターニングデバイストポグラフィ誘起位相を使用するための方法及び装置 2017年12月21日
特表 2017-538159 流体取扱構造、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2017年12月21日
特開 2017-223980 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2017年12月21日
特開 2017-224000 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2017年12月21日
特表 2017-537314 エンコーダ、位置測定システム、及びリソグラフィ装置 2017年12月14日
特表 2017-537340 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2017年12月14日
特表 2017-537343 放射ビーム装置 2017年12月14日
特表 2017-537352 計測方法、コンピュータ製品およびシステム 2017年12月14日
特表 2017-536567 ターゲット材料を供給するための装置及び方法 2017年12月 7日
特表 2017-534895 センサ、オブジェクト位置決めシステム、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 2017年11月24日
特表 2017-534077 マスクアセンブリ 2017年11月16日

115 件中 1-15 件を表示

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2017-538962 2017-538143 2017-538155 2017-538156 2017-538157 2017-538159 2017-223980 2017-224000 2017-537314 2017-537340 2017-537343 2017-537352 2017-536567 2017-534895 2017-534077

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