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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第379位 113件
(
2016年:第396位 90件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第305位 95件
(
2016年:第324位 97件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特表 2017-538962 | リフレクタ | 2017年12月28日 | |
| 特表 2017-538143 | 熱調節流体ポンプ | 2017年12月21日 | |
| 特表 2017-538155 | パターニングデバイストポグラフィ誘起位相を使用するための方法及び装置 | 2017年12月21日 | |
| 特表 2017-538156 | リソグラフィ方法及び装置 | 2017年12月21日 | |
| 特表 2017-538157 | パターニングデバイストポグラフィ誘起位相を使用するための方法及び装置 | 2017年12月21日 | |
| 特表 2017-538159 | 流体取扱構造、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | 2017年12月21日 | |
| 特開 2017-223980 | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | 2017年12月21日 | |
| 特開 2017-224000 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2017年12月21日 | |
| 特表 2017-537314 | エンコーダ、位置測定システム、及びリソグラフィ装置 | 2017年12月14日 | |
| 特表 2017-537340 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2017年12月14日 | |
| 特表 2017-537343 | 放射ビーム装置 | 2017年12月14日 | |
| 特表 2017-537352 | 計測方法、コンピュータ製品およびシステム | 2017年12月14日 | |
| 特表 2017-536567 | ターゲット材料を供給するための装置及び方法 | 2017年12月 7日 | |
| 特表 2017-534895 | センサ、オブジェクト位置決めシステム、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 | 2017年11月24日 | |
| 特表 2017-534077 | マスクアセンブリ | 2017年11月16日 |
115 件中 1-15 件を表示
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2017-538962 2017-538143 2017-538155 2017-538156 2017-538157 2017-538159 2017-223980 2017-224000 2017-537314 2017-537340 2017-537343 2017-537352 2017-536567 2017-534895 2017-534077
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