ホーム > 特許ランキング > エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. > 2026年の出願公開
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■ 2026年 出願公開件数ランキング 第161位 45件
(
2025年:第214位 159件)
■ 2026年 特許取得件数ランキング 第275位 21件
(
2025年:第348位 77件)
(ランキング更新日:2026年3月16日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特表 2026-508855 | メトロロジのための光学コンポーネントアレイによる置換え | 2026年 3月13日 | |
| 特表 2026-508861 | 流体トランスポートシステム、温度コンディショニングシステム、リソグラフィ装置、フレキシブルホース | 2026年 3月13日 | |
| 特表 2026-508882 | 基板を位置合わせするためのシステム及び方法 | 2026年 3月13日 | |
| 特表 2026-508483 | 位置制御のためのシステム及び方法 | 2026年 3月11日 | |
| 特表 2026-508262 | 基板に適用されるストレッサを判定する方法、及び関連するデバイス | 2026年 3月10日 | |
| 特表 2026-507797 | 流体ハンドリング構造 | 2026年 3月 6日 | |
| 特表 2026-507808 | 基板ホルダ、基板サポート、リソグラフィ装置、及び方法 | 2026年 3月 6日 | |
| 特表 2026-507418 | 精度を向上させるための多様なSEM測定方式 | 2026年 3月 4日 | |
| 特表 2026-506448 | 光学特性を決定するための方法 | 2026年 2月25日 | |
| 特表 2026-506270 | リソグラフィプロセスにおけるマルチパラメータセンシングのためのマルチチャネルロックインカメラ | 2026年 2月24日 | |
| 特表 2026-505968 | 荷電粒子光学素子、荷電粒子光学モジュール、評価装置、チップアセンブリ、製造方法 | 2026年 2月20日 | |
| 特表 2026-505976 | EUV放射源用のターゲット材料格納及び搬送システム | 2026年 2月20日 | |
| 特表 2026-505998 | 基板上に残った液体に起因する欠陥を低減可能な流体ハンドリングシステム及び方法、並びにこの流体ハンドリングシステムを含むリソグラフィ装置 | 2026年 2月20日 | |
| 特表 2026-505248 | 基板の形状を変化させるためのシステム | 2026年 2月13日 | |
| 特表 2026-505272 | ガス供給モジュール、流体ハンドリングシステム、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | 2026年 2月13日 |
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2026-508855 2026-508861 2026-508882 2026-508483 2026-508262 2026-507797 2026-507808 2026-507418 2026-506448 2026-506270 2026-505968 2026-505976 2026-505998 2026-505248 2026-505272
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