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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2019年 出願公開件数ランキング    第272位 151件 上昇2018年:第314位 124件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第255位 108件 上昇2018年:第281位 102件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2019-536995 検査装置用の照明源、検査装置、及び検査方法 2019年12月19日
特表 2019-537045 可変幅レーザパルスを使用したドーズ量制御及びレーザ安定化を伴うEUV LPP源 2019年12月19日
特表 2019-537237 メトロロジレシピ選択 2019年12月19日
特表 2019-537272 エッチングパラメータを変更する方法 2019年12月19日
特開 2019-216105 レーザ作動光源 2019年12月19日
特表 2019-536071 光学システムにおける物理的効果の補償 2019年12月12日
特表 2019-536076 放射分析システム 2019年12月12日
特表 2019-536096 スタック差を使用した設計及び補正 2019年12月12日
特表 2019-535102 電子ビーム伝送システム 2019年12月 5日
特表 2019-535123 半導体製造歩留まりを向上させるための方法 2019年12月 5日
特表 2019-535125 波長ベースの光フィルタリング 2019年12月 5日
特開 2019-207423 レーザ生成プラズマ極端紫外線光源のターゲット 2019年12月 5日
特表 2019-534474 高さセンサ、リソグラフィ装置、及びデバイスを製造するための方法 2019年11月28日
特表 2019-534479 リソグラフィプロセスのパラメータを測定する方法及び装置、そのような方法及び装置を実施するためのコンピュータプログラム製品 2019年11月28日
特開 2019-204132 リソグラフィ装置内で用いられる膜及びそのような膜を含むリソグラフィ装置 2019年11月28日

157 件中 1-15 件を表示

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2019-536995 2019-537045 2019-537237 2019-537272 2019-216105 2019-536071 2019-536076 2019-536096 2019-535102 2019-535123 2019-535125 2019-207423 2019-534474 2019-534479 2019-204132

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