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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第527位 59件 (2022年:第1164位 21件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第756位 32件 (2022年:第3719位 4件)
(ランキング更新日:2025年1月31日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2023-95787 | 基板処理装置及び方法 | 2023年 7月 6日 | |
特開 2023-90635 | 基板処理装置および方法 | 2023年 6月29日 | |
特開 2023-90649 | プロセスガス供給ユニットおよびそれを含む基板処理装置 | 2023年 6月29日 | |
特開 2023-88278 | 液供給ユニット、基板処理装置、そして、基板処理方法 | 2023年 6月26日 | |
特開 2023-87666 | 薬液供給装置及び方法、そして、基板処理装置 | 2023年 6月23日 | |
特開 2023-86114 | 搬送台車およびそれを含む搬送システム | 2023年 6月21日 | |
特開 2023-82667 | 薬液検査装置および、それを含む基板処理装置 | 2023年 6月14日 | |
特開 2023-82682 | 基板処理装置および方法 | 2023年 6月14日 | |
特開 2023-82685 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年 6月14日 | |
特開 2023-81857 | 液供給ユニット及びこれを含む基板処理装置 | 2023年 6月13日 | |
特開 2023-81858 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年 6月13日 | |
特開 2023-73947 | 基板処理装置および方法 | 2023年 5月26日 | |
特開 2023-70077 | 凍破防止弁装置およびそれを含む半導体製造装置とその設置方法 | 2023年 5月18日 | |
特開 2023-68649 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年 5月17日 | |
特開 2023-68650 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2023年 5月17日 |
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2023-95787 2023-90635 2023-90649 2023-88278 2023-87666 2023-86114 2023-82667 2023-82682 2023-82685 2023-81857 2023-81858 2023-73947 2023-70077 2023-68649 2023-68650
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2月4日(火) - 東京 港区
2月4日(火) - 神奈川 川崎市
2月4日(火) -
2月4日(火) -
2月5日(水) - 東京 港区
2月5日(水) -
2月5日(水) -
2月5日(水) -
2月6日(木) - 東京 港区
2月6日(木) -
2月7日(金) -
2月7日(金) - 東京 港区
2月7日(金) - 神奈川 横浜市
2月7日(金) -
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