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セメス株式会社

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  2023年 出願公開件数ランキング    第527位 59件 上昇2022年:第1164位 21件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第756位 32件 上昇2022年:第3719位 4件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2023-95787 基板処理装置及び方法 2023年 7月 6日
特開 2023-90635 基板処理装置および方法 2023年 6月29日
特開 2023-90649 プロセスガス供給ユニットおよびそれを含む基板処理装置 2023年 6月29日
特開 2023-88278 液供給ユニット、基板処理装置、そして、基板処理方法 2023年 6月26日
特開 2023-87666 薬液供給装置及び方法、そして、基板処理装置 2023年 6月23日
特開 2023-86114 搬送台車およびそれを含む搬送システム 2023年 6月21日
特開 2023-82667 薬液検査装置および、それを含む基板処理装置 2023年 6月14日
特開 2023-82682 基板処理装置および方法 2023年 6月14日
特開 2023-82685 基板処理装置及び基板処理方法 2023年 6月14日
特開 2023-81857 液供給ユニット及びこれを含む基板処理装置 2023年 6月13日
特開 2023-81858 基板処理装置及び基板処理方法 2023年 6月13日
特開 2023-73947 基板処理装置および方法 2023年 5月26日
特開 2023-70077 凍破防止弁装置およびそれを含む半導体製造装置とその設置方法 2023年 5月18日
特開 2023-68649 基板処理装置及び基板処理方法 2023年 5月17日
特開 2023-68650 基板処理装置及び基板処理方法 2023年 5月17日

59 件中 31-45 件を表示

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2023-95787 2023-90635 2023-90649 2023-88278 2023-87666 2023-86114 2023-82667 2023-82682 2023-82685 2023-81857 2023-81858 2023-73947 2023-70077 2023-68649 2023-68650

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