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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第867位 33件
(2014年:第606位 53件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第532位 45件
(2014年:第644位 49件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5747306 | 露光装置のアライメント装置 | 2015年 7月15日 | |
特許 5747921 | 配向処理装置及び配向処理方法 | 2015年 7月15日 | |
特許 5748141 | 露光装置 | 2015年 7月15日 | |
特許 5728772 | 原料ガス発生装置 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5709495 | 露光装置 | 2015年 4月30日 | |
特許 5704315 | 露光装置 | 2015年 4月22日 | |
特許 5704525 | マイクロレンズアレイを使用したスキャン露光装置 | 2015年 4月22日 | |
特許 5704527 | マイクロレンズアレイを使用した露光装置 | 2015年 4月22日 | |
特許 5704535 | マイクロレンズアレイを使用した露光装置 | 2015年 4月22日 | |
特許 5704591 | 配向処理方法及び配向処理装置 | 2015年 4月22日 | |
特許 5704606 | 被露光基板のアライメント補正方法及び露光装置 | 2015年 4月22日 | |
特許 5688637 | 露光方法及び露光位置の確認方法 | 2015年 3月25日 | |
特許 5688730 | 露光装置 | 2015年 3月25日 | |
特許 5685756 | フィルム露光方法 | 2015年 3月18日 | |
特許 5678333 | レーザアニール方法及び装置 | 2015年 3月 4日 |
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5747306 5747921 5748141 5728772 5709495 5704315 5704525 5704527 5704535 5704591 5704606 5688637 5688730 5685756 5678333
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