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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4822285 | ガスレーザ用光学素子及びそれを用いたガスレーザ装置 | 2011年11月24日 | |
特許 4803680 | ガスレーザ装置 | 2011年10月26日 | |
特許 4794490 | 紫外線ガスレーザ装置 | 2011年10月19日 | 共同出願 |
特許 4699640 | 真空紫外レーザ装置の波長測定装置 | 2011年 6月15日 | |
特許 4683784 | レーザ装置用波長制御装置及び制御方法 | 2011年 5月18日 | |
特許 4683778 | レーザ装置用波長制御装置及び制御方法 | 2011年 5月18日 | |
特許 4664540 | レーザ装置用波長制御装置及び制御方法 | 2011年 4月 6日 | |
特許 4653360 | パルス発振型ガスレーザ装置 | 2011年 3月16日 | |
特許 4629910 | 光スペクトル検出方法、及び、それを用いた光スペクトル検出プログラム、光スペクトル検出装置、分光装置、レーザ装置 | 2011年 2月 9日 | 共同出願 |
特許 4615147 | 光スペクトル検出装置及びそれを用いた分光装置とレーザ装置 | 2011年 1月19日 | 共同出願 |
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4822285 4803680 4794490 4699640 4683784 4683778 4664540 4653360 4629910 4615147
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