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ギガフォトン株式会社

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ギガフォトン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2024-179689	極端紫外光生成用チャンバ装置及び電子デバイスの製造方法	2024年12月26日
特開 2024-120652	ＥＵＶ光生成装置、及び電子デバイスの製造方法	2024年 9月 5日
特開 2024-106191	ターゲット供給装置、及び電子デバイスの製造方法	2024年 8月 7日
特開 2024-105576	ターゲット供給装置、ターゲット供給方法、及び電子デバイスの製造方法	2024年 8月 6日
特開 2024-104699	チルトステージ、極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法	2024年 8月 5日
特開 2024-101463	極端紫外光生成用チャンバ装置及び電子デバイスの製造方法	2024年 7月29日
特開 2024-83937	極端紫外光生成用チャンバ装置及び電子デバイスの製造方法	2024年 6月24日
特開 2024-81399	極端紫外光生成システム、及び電子デバイスの製造方法	2024年 6月18日
特開 2024-81400	極端紫外光生成システム、及び電子デバイスの製造方法	2024年 6月18日
特開 2024-72618	極端紫外光生成用チャンバ装置及び電子デバイスの製造方法	2024年 5月28日
特開 2024-58754	極端紫外光生成装置及び電子デバイスの製造方法	2024年 4月30日
特開 2024-20968	極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法	2024年 2月15日
特開 2024-17670	軸受装置、および軸受装置を備えたレーザ装置	2024年 2月 8日
特開 2024-13662	ＥＵＶ光生成装置、及び電子デバイスの製造方法	2024年 2月 1日
特開 2024-11005	ＥＵＶ光生成システム及び電子デバイスの製造方法	2024年 1月25日

15 件中 1-15 件を表示

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2024-179689 2024-120652 2024-106191 2024-105576 2024-104699 2024-101463 2024-83937 2024-81399 2024-81400 2024-72618 2024-58754 2024-20968 2024-17670 2024-13662 2024-11005

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