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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第872位 31件
(2019年:第821位 36件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第547位 42件
(2019年:第612位 37件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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再表 2019-30792 | コンデンサの冷却構造及びレーザ装置 | 2020年 8月 6日 | |
特開 2020-109860 | 光ビーム計測装置 | 2020年 7月16日 | |
再表 2018-198227 | EUV光生成装置 | 2020年 5月14日 | |
再表 2019-12642 | レーザシステム | 2020年 5月 7日 | |
再表 2019-8719 | レーザシステム、極端紫外光生成装置、及び極端紫外光生成方法 | 2020年 4月30日 | |
再表 2018-229823 | レーザ装置、及びレーザ装置管理システム、並びにレーザ装置の管理方法 | 2020年 4月16日 | |
再表 2018-229838 | 極端紫外光センサユニット及び極端紫外光生成装置 | 2020年 4月16日 | |
再表 2018-220761 | 極端紫外光生成システム | 2020年 4月 2日 | |
再表 2018-225117 | レーザ装置、及びEUV光生成システム | 2020年 4月 2日 | |
再表 2018-203370 | ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置、及びターゲット供給方法 | 2020年 3月12日 | |
再表 2018-211569 | 極端紫外光生成装置 | 2020年 3月12日 | |
再表 2018-198215 | 狭帯域化モジュール | 2020年 3月 5日 | |
再表 2018-193528 | ガスレーザ装置及び磁気軸受制御方法 | 2020年 2月27日 | |
特開 2020-25143 | レーザ装置及び非一過性のコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2020年 2月13日 | |
再表 2018-179417 | 極端紫外光生成装置 | 2020年 2月 6日 |
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2019-30792 2020-109860 2018-198227 2019-12642 2019-8719 2018-229823 2018-229838 2018-220761 2018-225117 2018-203370 2018-211569 2018-198215 2018-193528 2020-25143 2018-179417
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6月20日(金) -
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