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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6799583 | 極端紫外光生成装置及び極端紫外光の重心位置の制御方法 | 2020年12月16日 | |
特許 6796200 | 極端紫外光生成システム | 2020年12月 2日 | |
特許 6779301 | レーザ装置、及び極端紫外光生成システム | 2020年11月 4日 | |
特許 6775606 | 極端紫外光生成システム | 2020年10月28日 | |
特許 6770526 | レーザガス精製システム及びレーザシステム | 2020年10月14日 | |
特許 6770574 | 波長検出装置 | 2020年10月14日 | |
特許 6762356 | レーザアニール装置 | 2020年 9月30日 | |
特許 6762364 | レーザシステム | 2020年 9月30日 | |
特許 6763015 | 極端紫外光生成装置 | 2020年 9月30日 | |
特許 6763077 | 極端紫外光生成装置 | 2020年 9月30日 | |
特許 6763959 | チャンバ装置、ターゲット生成方法および極端紫外光生成装置 | 2020年 9月30日 | |
特許 6756737 | レーザ照射装置 | 2020年 9月16日 | |
特許 6752718 | 狭帯域化レーザ装置 | 2020年 9月 9日 | |
特許 6748730 | 極端紫外光生成装置 | 2020年 9月 2日 | |
特許 6748993 | 高電圧パルス発生装置及びガスレーザ装置 | 2020年 9月 2日 |
44 件中 1-15 件を表示
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6799583 6796200 6779301 6775606 6770526 6770574 6762356 6762364 6763015 6763077 6763959 6756737 6752718 6748730 6748993
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11月27日(水) -
11月27日(水) -
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11月28日(木) -
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12月1日(日) -
12月1日(日) -
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