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エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ.

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  2017年 出願公開件数ランキング    第3759位 5件 上昇2016年:第7297位 2件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第5450位 2件 下降2016年:第1645位 12件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2017-224000 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2017年12月21日
特表 2017-534077 マスクアセンブリ 2017年11月16日
特表 2017-532587 放射をスペクトル的に拡大するための方法及び装置 2017年11月 2日
特表 2017-530394 高開口数対物レンズシステム 2017年10月12日
特表 2017-528757 測定方法、測定装置、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 2017年 9月28日
特表 2017-526970 静電クランプおよびその製造方法 2017年 9月14日
特表 2017-523477 アライメントセンサおよびリソグラフィ装置 2017年 8月17日
特表 2017-518478 コンパクトな両側レチクル検査システム 2017年 7月 6日
特表 2017-516124 パターニングデバイスの変型および/またはその位置の変化の推測 2017年 6月15日
特表 2017-515148 基板支持体、基板支持ロケーションに基板を搭載するための方法、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 2017年 6月 8日
特表 2017-510232 コイルアセンブリ、電磁アクチュエータ、ステージ位置決め装置、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2017年 4月 6日
特開 2017-16157 リソグラフィ装置 2017年 1月19日

12 件中 1-12 件を表示

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2017-224000 2017-534077 2017-532587 2017-530394 2017-528757 2017-526970 2017-523477 2017-518478 2017-516124 2017-515148 2017-510232 2017-16157

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