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エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ.

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  2020年 出願公開件数ランキング    第2497位 8件 下降2019年:第1815位 13件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第1660位 10件 下降2019年:第1540位 11件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2020-535431 検査装置のための光学配置 2020年12月 3日
特開 2020-181212 マスクアセンブリ 2020年11月 5日
特表 2020-528168 粒子トラップおよび粒子抑制用バリア 2020年 9月17日
特表 2020-521157 基板及び基板を使用する方法 2020年 7月16日
特表 2020-521159 アライメントシステムにおける2次元アライメントのためのアライメントマーク 2020年 7月16日
特表 2020-519927 メトロロジセンサ、リソグラフィ装置、及びデバイスを製造するための方法 2020年 7月 2日
特表 2020-518786 複数イメージ粒子検出のシステム及び方法 2020年 6月25日
特表 2020-518845 光学メトロロジの性能を測定するための方法、基板、及び装置 2020年 6月25日
特表 2020-515912 反射防止コーティング 2020年 5月28日
特表 2020-507806 レチクルクランプデバイス 2020年 3月12日
特表 2020-503539 メトロロジツール及びメトロロジツールを使用する方法 2020年 1月30日
特開 2020-13140 リソグラフィ装置 2020年 1月23日

12 件中 1-12 件を表示

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2020-535431 2020-181212 2020-528168 2020-521157 2020-521159 2020-519927 2020-518786 2020-518845 2020-515912 2020-507806 2020-503539 2020-13140

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