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エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ.

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  2022年 出願公開件数ランキング    第1474位 16件 上昇2021年:第3677位 5件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第2222位 8件 下降2021年:第2016位 8件)

(ランキング更新日:2025年2月21日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2022-554082 可変回折格子 2022年12月28日
特表 2022-547864 アライメントソースとしてのレーザモジュール、メトロロジシステム、及びリソグラフィ装置 2022年11月16日
特表 2022-544545 リソグラフィ装置および紫外放射制御システム 2022年10月19日
特表 2022-540988 オンチップウェーハアライメントセンサ 2022年 9月21日
特表 2022-533985 分割両面ウェーハ及びレチクルクランプ 2022年 7月27日
特表 2022-533319 リソグラフィ装置、基板テーブル、及び方法 2022年 7月22日
特表 2022-529896 リソグラフィ装置及び照度均一性補正システム 2022年 6月27日
特表 2022-526282 リソグラフィ測定のためのセンサ装置及び方法 2022年 5月24日
特開 2022-66392 マスクアセンブリ 2022年 4月28日
特表 2022-524206 リソグラフィ装置、計測装置、光学システムおよび方法 2022年 4月28日
特表 2022-515746 ダイレクトドライブのレチクル安全ラッチ 2022年 2月22日
特表 2022-515489 リソグラフィ装置内の粒子をその場で除去するための装置および方法 2022年 2月18日
特開 2022-23178 リソグラフィ装置のオブジェクトを保持するためのチャック及びクランプ、並びにリソグラフィ装置のクランプによって保持されるオブジェクトの温度を制御する方法 2022年 2月 7日
特表 2022-510965 並列アライメントマークを同時に獲得するための装置及びその方法 2022年 1月28日
特表 2022-510608 アライメント信号のためのノイズ補正 2022年 1月27日

18 件中 1-15 件を表示

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2022-554082 2022-547864 2022-544545 2022-540988 2022-533985 2022-533319 2022-529896 2022-526282 2022-66392 2022-524206 2022-515746 2022-515489 2022-23178 2022-510965 2022-510608

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