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エーエスエムエル　ホールディング　エヌ．ブイ．

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エーエスエムエル　ホールディング　エヌ．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2023-174692	リソグラフィ装置の一部を洗浄するためのシステム	2023年12月 8日
特開 2023-143925	マスクアセンブリ	2023年10月 6日
特表 2023-538850	リソグラフィ装置、計測システム及び誤差補正のための強度不均衡測定	2023年 9月12日
特表 2023-536576	粒子検査システムのスループットを改善するためのダブルスキャン・オプトメカニカル構成	2023年 8月28日
特表 2023-530864	自己参照集積アライメントセンサ	2023年 7月20日
特表 2023-529577	リソグラフィ装置用基板ホルダ及び基板ホルダの製造方法	2023年 7月11日
特表 2023-528761	内蔵同軸照明を備えたリソグラフィプリアライメント結像センサ	2023年 7月 6日
特表 2023-528964	物体ホルダ、静電シートおよび静電シートを製造する方法	2023年 7月 6日
特表 2023-526187	アライメントマークの局所的な歪みに基づくアライメント信号の生成	2023年 6月21日
特開 2023-83338	ペリクルに関連する状態を決定するための装置および方法	2023年 6月15日
特開 2023-80212	ペリクル及びペリクルアセンブリ	2023年 6月 8日
特表 2023-512917	アライメントマークを感知するための装置	2023年 3月30日
特表 2023-512177	スキャトロメータベースの粒子検査システムの改善されたアライメント	2023年 3月24日
特表 2023-511673	粒子状デブリの軌道を変更するための偏向装置を備えるリソグラフィシステム	2023年 3月22日
特表 2023-509667	両面静電クランプを製造するためのシステムおよび方法	2023年 3月 9日

20 件中 1-15 件を表示

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2023-174692 2023-143925 2023-538850 2023-536576 2023-530864 2023-529577 2023-528761 2023-528964 2023-526187 2023-83338 2023-80212 2023-512917 2023-512177 2023-511673 2023-509667

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