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エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ.

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  2024年 出願公開件数ランキング    第2711位 7件 下降2023年:第1639位 14件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第2210位 8件 下降2023年:第2186位 8件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2024-149560 ペリクルに関連する状態を決定するための装置および方法 2024年10月18日
特表 2024-531044 フォトニック結晶又は高非線形ファイバにおける広帯域放射発生の改良 2024年 8月29日
特開 2024-111212 マスクアセンブリ 2024年 8月16日
特開 2024-109689 アライメントマークの局所的な歪みに基づくアライメント信号の生成 2024年 8月14日
特開 2024-109883 アライメントマークを感知するための装置 2024年 8月14日
特表 2024-526180 リソグラフィ装置におけるレチクルの熱調節のためのシステム、方法、およびデバイス 2024年 7月17日
特表 2024-521551 モジュール式ウェーハテーブル及びその製造方法 2024年 6月 3日
特表 2024-520782 計測システム、時間および空間コヒーレンススクランブラ、およびそれらの方法 2024年 5月24日
特表 2024-512198 光パルスを空間的にフィルタリングするための方法および装置 2024年 3月19日
特表 2024-511313 支持面を変更するためのツール 2024年 3月13日
特表 2024-506526 汚染物質検出のシステム及び方法 2024年 2月14日
特表 2024-504714 均一性ドリフトの高速補正 2024年 2月 1日
特表 2024-503585 リソグラフィアライメント装置における強度を測定するためのシステム及び方法 2024年 1月26日
特表 2024-500380 リソグラフィ装置、メトロロジシステム、及びそれらの方法 2024年 1月 9日

14 件中 1-14 件を表示

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2024-149560 2024-531044 2024-111212 2024-109689 2024-109883 2024-526180 2024-521551 2024-520782 2024-512198 2024-511313 2024-506526 2024-504714 2024-503585 2024-500380

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