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ケーエルエー−テンカー・コーポレーション

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  2014年 出願公開件数ランキング    第2128位 10件 下降2013年:第1902位 13件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第907位 32件 上昇2013年:第2127位 10件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5546533 急な勾配を有するウェハにおける形状および厚さ変動の測定 2014年 7月 9日
特許 5542049 マルチコア構造に基づくウエハー上の欠陥を検出するためのコンピューターに実装された方法、キャリア媒体、およびシステム 2014年 7月 9日
特許 5539880 ウエハ用永続的データの作成と、永続的データを検査関連機能に使用するためのシステムと方法 2014年 7月 2日
特許 5537684 ウエハー上で実施される測定中のプロセスに関するダイナミック・サンプリング・スキームを生成または実施するための方法ならびにシステム 2014年 7月 2日
特許 5529729 広帯域顕微鏡法に使用するための浸液を用いる反射屈折顕微鏡対物レンズ 2014年 6月25日
特許 5518712 高密度インパッケージ超小型電子増幅器 2014年 6月11日
特許 5512064 UV適合性プログラム可能な空間フィルタ 2014年 6月 4日
特許 5487196 小さな反射屈折対物レンズを用いる分割視野検査システム 2014年 5月 7日
特許 5461534 基板調査デバイス 2014年 4月 2日
特許 5453104 基板プロセス装置 2014年 3月26日
特許 5444216 さまざまなパワー・レベルの光を用い試料を検査するシステム及び方法 2014年 3月19日
特許 5444246 マルチチャック走査ステージ 2014年 3月19日
特許 5425760 ウエハー上で実施される測定中のプロセスに関するダイナミック・サンプリング・スキームを生成または実施するための方法ならびにシステム 2014年 2月26日
特許 5427609 検査レシピ作成システムおよびその方法 2014年 2月26日
特許 5425779 実際の欠陥が潜在的にシステム的な欠陥であるか、または潜在的にランダムな欠陥であるかを判断する、コンピューターに実装された方法 2014年 2月26日

32 件中 16-30 件を表示

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5546533 5542049 5539880 5537684 5529729 5518712 5512064 5487196 5461534 5453104 5444216 5444246 5425760 5427609 5425779

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