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株式会社荏原製作所

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  2017年 出願公開件数ランキング    第123位 417件 上昇2016年:第233位 176件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第183位 176件 上昇2016年:第254位 129件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6100002 基板裏面の研磨方法および基板処理装置 2017年 3月22日
特許 6100038 真空ポンプ 2017年 3月22日
特許 6100049 めっき装置 2017年 3月22日
特許 6100172 給水装置及び給水方法 2017年 3月22日
特許 6100541 研磨方法 2017年 3月22日
特許 6101378 研磨装置 2017年 3月22日
特許 6101574 地下排水機場およびその運転方法 2017年 3月22日
特許 6101621 研磨装置 2017年 3月22日
特許 6097067 ドライポンプ装置 2017年 3月15日
特許 6091573 試料観察方法及び装置 2017年 3月 8日
特許 6091925 真空ポンプ 2017年 3月 8日
特許 6091976 液体供給装置、及び基板処理装置 2017年 3月 8日
特許 6092086 研磨装置 2017年 3月 8日
特許 6092156 めっき装置及びめっき方法 2017年 3月 8日
特許 6092439 基板保持装置、研磨装置、および研磨方法 2017年 3月 8日

178 件中 136-150 件を表示

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6100002 6100038 6100049 6100172 6100541 6101378 6101574 6101621 6097067 6091573 6091925 6091976 6092086 6092156 6092439

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