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株式会社荏原製作所

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  2017年 出願公開件数ランキング    第123位 417件 上昇2016年:第233位 176件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第183位 176件 上昇2016年:第254位 129件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6170356 研磨装置、研磨パッドの配置方法、及び研磨パッド 2017年 7月26日
特許 6170694 測長計の設置構造 2017年 7月26日
特許 6171053 研磨装置 2017年 7月26日
特許 6165795 弾性膜、基板保持装置、および研磨装置 2017年 7月19日
特許 6166102 除害機能付真空ポンプ 2017年 7月19日
特許 6161863 電気めっき方法 2017年 7月12日
特許 6161999 研磨方法および研磨装置 2017年 7月12日
特許 6162531 シール構造、容器、及びポンプのケーシング構造 2017年 7月12日
特許 6157694 洗浄装置、これを備えためっき装置、及び洗浄方法 2017年 7月 5日
特許 6158637 弾性膜及び基板保持装置 2017年 7月 5日
特許 6159282 基板処理装置、および基板処理装置の配管洗浄方法 2017年 7月 5日
特許 6153754 除害機能付真空ポンプ 2017年 6月28日
特許 6154944 研磨装置 2017年 6月28日
特許 6151626 熱交換器用の流路の接続装置 2017年 6月21日
特許 6151945 除害機能付真空ポンプ 2017年 6月21日

178 件中 76-90 件を表示

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6170356 6170694 6171053 6165795 6166102 6161863 6161999 6162531 6157694 6158637 6159282 6153754 6154944 6151626 6151945

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