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株式会社荏原製作所

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  2017年 出願公開件数ランキング    第123位 417件 上昇2016年:第233位 176件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第183位 176件 上昇2016年:第254位 129件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6133120 基板洗浄装置 2017年 5月24日
特許 6133672 ポンプ装置 2017年 5月24日
特許 6133676 ポンプ装置 2017年 5月24日
特許 6128876 除塵装置用レーキ 2017年 5月17日
特許 6128912 多段ポンプ 2017年 5月17日
特許 6130677 研磨装置および研磨方法 2017年 5月17日
特許 6130785 ポンプ装置 2017年 5月17日
特許 6124688 モータ、ポンプ 2017年 5月10日
特許 6125242 真空ポンプ装置およびその運転方法 2017年 5月10日
特許 6125884 基板処理装置及び処理基板の製造方法 2017年 5月10日
特許 6126414 基板搬送装置、基板研磨装置 2017年 5月10日
特許 6121267 増圧給水システム 2017年 4月26日
特許 6121795 ドレッシング装置、該ドレッシング装置を備えた研磨装置、および研磨方法 2017年 4月26日
特許 6122684 基板処理装置及び処理基板の製造方法 2017年 4月26日
特許 6115939 研磨液の性状測定装置 2017年 4月19日

178 件中 106-120 件を表示

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6133120 6133672 6133676 6128876 6128912 6130677 6130785 6124688 6125242 6125884 6126414 6121267 6121795 6122684 6115939

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