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株式会社荏原製作所

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  2019年 出願公開件数ランキング    第145位 326件 下降2018年:第114位 380件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第168位 167件 上昇2018年:第170位 177件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-210873 制御装置、制御システム、制御方法、プログラム及び機械学習装置 2019年12月12日
特開 2019-206077 バフ処理装置および基板処理装置 2019年12月 5日
特開 2019-206235 高高度到達装置 2019年12月 5日
特開 2019-206836 ポンプシステム 2019年12月 5日
特開 2019-206837 ポンプシステム 2019年12月 5日
特開 2019-206838 ポンプシステム 2019年12月 5日
特開 2019-206839 ポンプシステム 2019年12月 5日
特開 2019-206939 ポンプ設備及びポンプ設備の管理方法 2019年12月 5日
特開 2019-202361 基板保持装置、基板研磨装置、弾性部材および基板保持装置の製造方法 2019年11月28日
特開 2019-203434 圧力タンク及びこれを備えたポンプユニット 2019年11月28日
特開 2019-203509 真空ポンプおよびその運転方法 2019年11月28日
特開 2019-198938 研磨ヘッドを用いて研磨パッドの研磨面を検出する方法、および研磨装置 2019年11月21日
特開 2019-201178 基板処理装置 2019年11月21日
特開 2019-195865 光透過性部材、研磨パッドおよび基板研磨装置 2019年11月14日
特開 2019-196505 めっき装置 2019年11月14日

326 件中 16-30 件を表示

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2019-210873 2019-206077 2019-206235 2019-206836 2019-206837 2019-206838 2019-206839 2019-206939 2019-202361 2019-203434 2019-203509 2019-198938 2019-201178 2019-195865 2019-196505

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