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株式会社荏原製作所

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  2019年 出願公開件数ランキング    第145位 326件 下降2018年:第114位 380件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第168位 167件 上昇2018年:第170位 177件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-193508 キャンドモータ及びキャンドモータポンプ 2019年10月31日
特開 2019-181607 研磨パッドの表面温度の調整方法、および研磨装置 2019年10月24日
特開 2019-181689 研磨装置及び基板処理装置 2019年10月24日
特開 2019-182228 有線ドローンシステム 2019年10月24日
特開 2019-182268 有線ドローンシステム 2019年10月24日
特開 2019-183696 給水システム及び給水装置 2019年10月24日
特開 2019-183697 横軸ポンプ装置 2019年10月24日
特開 2019-183754 先行待機運転ポンプ 2019年10月24日
特開 2019-186320 洗浄液供給システム、基板処理装置および基板処理システム 2019年10月24日
特開 2019-186475 基板処理装置および基板保持装置 2019年10月24日
特開 2019-171492 基板保持装置およびドライブリングの製造方法 2019年10月10日
特開 2019-173582 回転機器のための保護カバー及びこれを備える回転機器 2019年10月10日
特開 2019-173613 真空排気装置および真空排気方法 2019年10月10日
特開 2019-173845 軸継手および該軸継手を備えた回転装置 2019年10月10日
特開 2019-175933 洗浄装置、これを備えためっき装置、及び洗浄方法 2019年10月10日

326 件中 46-60 件を表示

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2019-193508 2019-181607 2019-181689 2019-182228 2019-182268 2019-183696 2019-183697 2019-183754 2019-186320 2019-186475 2019-171492 2019-173582 2019-173613 2019-173845 2019-175933

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